有良好的化学稳定性，抗酸能力强。在高温条件下碱性物质对其有侵蚀作用。
硅碳棒元件在1000℃以上长期使用能与氧气和水蒸气发生如下作用：
①SiC+2O2→SiO2+CO2 ②SiC+4H2O=SiO2+4H2+CO2
致使元件中SiO2含量逐渐增多，电阻随之缓慢增加，为之老化。如水蒸气过多，会促进SiC氧化，由②式反应产生的H2与空气中的O2结合H2O再反应产生恶性循环。降低元件寿命。氢气（H2）能使元件机械强度降低。氮气（N2）在1200℃以下能防止SiC氧化1350℃以上与SiC发生反应，使SiC分解氯气（Cl2）能使Sic完全分解。
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