有良好的化學穩定性，抗酸能力強。在高溫條件下堿性物質對其有侵蝕作用。
矽碳棒元件在1000℃以上長期使用能與氧氣和水蒸氣發生如下作用：
①SiC+2O2→SiO2+CO2 ②SiC+4H2O=SiO2+4H2+CO2
致使元件中SiO2含量逐漸增多，電阻隨之緩慢增加，為之老化。如水蒸氣過多，會促進SiC氧化，由②式反應產生的H2與空氣中的O2結合H2O再反應產生惡性循環。降低元件壽命。氫氣（H2）能使元件機械強度降低。氮氣（N2）在1200℃以下能防止SiC氧化1350℃以上與SiC發生反應，使SiC分解氯氣（Cl2）能使Sic完全分解。
備案號：